中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Compass #9195370 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALSコンパスは、半導体デバイスの製造に使用されるマスク&ウェハ検査装置です。光学および電気試験機能を統合したハイスループット検査プラットフォームです。大型半導体製造におけるマスク、ウェーハ等の品質検査が可能です。このユニットは、多軸自動顕微鏡、CCD/CMOSカメラ、高速モーションコントロールマシン、イメージプロセッサ、特徴認識ユニット、ウェーハ基板ホルダーで構成されています。顕微鏡はマスクやウェーハの構造を検査するために使用され、カメラはそれぞれの特徴の画像をキャプチャします。その後、イメージプロセッサは、カメラによってキャプチャされた各イメージでシングルパス機能認識を実行し、ツールが潜在的な欠陥を識別することができます。このモーションコントロールアセットを使用すると、マスクとウェーハを標準の手動検査モード（ユーザー定義領域で実行）と反復モード（自動テンプレートを使用）の両方で正確にスキャンできます。これにより、大面積を最小限の時間で効率的にスキャンできます。さらに、AMAT Compassには高度な機能が組み込まれており、不明瞭で検出しにくい欠陥を検出するための精度と、アラートに対するユーザー定義のしきい値を提供します。さらに、さらに分析のためのデータマイニングを可能にする強化された欠陥ログとレポート機能を備えています。また、ウェーハ基板ホルダーを採用し、サンプルの積み降ろしを容易にするとともに、重いサンプルを移動するためのマルチレベルのサンプルホルダーも搭載しています。この装置は、複数の欠陥、パターン、およびアライメントを検査および修正することもできます。さらに、このシステムは多数の試験規格で認定されており、あらゆるアプリケーションの正確な試験ニーズを満たすように構成することができます。アプライドマテリアルズCompassは、全体の検査精度とプロセス速度を向上させるために設計されたオールインワンのハイスループットユニットです。このプラットフォームは、マスクとウェハの検査だけでなく、他のデバイス製造プロジェクトにも最適です。高度な機能と機能を組み合わせることで、製造メーカーはプロセス全体で高品質を維持することができます。