中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Compass Pro 300 #9235264 を販売中
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ID: 9235264
Patterned wafer inspection system
Sun UltraSparc (10) Unix workstations (RAM: 1GB, 40 GB)
HD With spare SCSI card and 20/40 GB tape drive
1140-A0291W / J20-8S-12K-24
1140-A0291W / J20-8S-12K-23
Spectra-physics 0412-0515 US / 0135-0968 Rev B
ASYST C0094-0948-01
ASYST 6900-1551-01 FI computer SmartPlus 1.83
100395-0311/00 Rev C / Cable X-axis motor encoder hall
SKU-G7-K-2317-1 Master IP computer
1951608 / IP1 Genesis camera interface cable
1951363 / 740-26817-AD IP1/ADC1, 0090-A0780
ACS DR14 Rev B2 Compass 300 X-Axis driver PCB
370-1586-03 / NESUN1 Sun compact mouse
Cooling fan sparcstation: 12 V
ANORAD Commutation x,y sq box
Rocketport interface bd in FI computer
ASYST IsoPort, 300 mm (LP B)
ASYST 2200 LP with MOCA (200 mm)
Video card in Sun Sparcstation (2) computers
Aligner and stage to FA blade
Light from SP laser head: 532 nm
Light laser diode: 808 nm
LP Cassette ID (Port A and Port B) communications
Rocket port interface board
Back-up tapes and sun solaris Sparcstation (2) PC
OLYMPUS Microscope with white light lamp, 50 W
4610 HLX, 50 W, 12 V
SP Laser head: 532 nm (light)
Ultra-Sparc (10) unix workstation
RAM: 1 GB (HD: 40 GB)
Laser detectors: 1.1 W, 28.5 A / 16.5 Degree Cd
Laser output: 2.4 W, 31.92 A / 16.42°C
Laser diode (current very high)
Laser head and diode testing
Rocketport breakout box has been replaced
(4) FFU Fans
6900-1551-01 SmartPlus 1.54, Patch 1, OS NT4.0, SP 6
Compass 300 X-Axis motor hall encoder cable, 25"
Master IP computer
Compass 300 Dark field detector
With IP1 Computer cable and (2) detectors
EDR PMT Detector assy
X-Axis driver board
Sun compact mouse with live host tool
Does not include camera IP1 interface cable.
AMAT/APPLIED MATERIALS Compass Pro 300は、半導体業界で活躍するために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、マスクやウェーハ上の構造物の深い計測とイメージングを提供します。このユニットの制御ソフトウェアである包括的なウェーハ検査（CWI）により、パターン化されたウェーハとパターン化されていないウェーハの両方を検査し、包括的な計測および画像処理プラットフォームを通じて徹底的に検査することができます。マシンは、ツールのコンソールとそのイメージングステーションである2つの統合コンポーネントで構成されています。コンソールには、標本の位置を制御し、真空、圧縮空気、およびその他の必要なガスを供給する資産の電動ステージが収容されています。このコンポーネントには、精密な測定とイメージングのためのモデルのプロービングおよびイメージング要素も含まれています。イメージングステーションには高解像度CCD （Charge-Coupled Device）カメラが搭載されており、試料表面の構造や特徴をキャプチャして特定するために使用されます。この装置は、光学技術を使用して半導体の形状やパターンを測定およびイメージング機能を介して調べるように設計されています。試料全体にわたる臨界寸法の不整合や変動を特定するだけでなく、欠陥検出にも使用できます。また、光源フォーカシングアルゴリズム（LSFA）を実行してウェーハ画像を分析することもできます。試料の地形とその構造は、光学系とレーザー干渉計の組み合わせで測定することができ、微細構造を見るために試料表面の3Dマイクログラフを作成します。ユニットのセンサーと検出器は、試験片の望ましくない欠陥の識別、確認、分析を支援します。機械には、自動故障解析と修理追跡のための特殊なツールも装備されています。AMAT Compass Pro 300は、半導体業界のマスクとウェーハの両方を検査するための信頼性、正確性、再現性の高い結果を提供する強力なツールです。その高度な制御ソフトウェアと包括的な検査機能は、品質保証と生産管理のための素晴らしいツールになります。コンパクトで使いやすく、ほとんどのラボや生産設備に適しています。
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