中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Compass Pro 300 #9220617 を販売中

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AMAT / APPLIED MATERIALS Compass Pro 300
販売された
ID: 9220617
ウェーハサイズ: 12"
Patterned wafer inspection systems, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Compass Pro 300マスク&ウェーハ検査装置は、マスクおよびウェーハ表面の迅速、正確、再現性、および低コスト分析を提供するように設計された高精度、非接触システムです。このユニットは、マスクまたはウェーハの前面と背面の両方についての詳細な情報を提供し、高い歩留まりと効率的なプロセス制御を可能にします。この機械は、電動X-yスキャンステージ、デジタルイメージング検出器、および統合された光学ツールで構成されており、最適な検査分解能とスループットを達成するために協力しています。スキャン段階は精密ステッピングモータによって駆動され、表面の特徴を詳細に分析するための優れた精度と低ステップサイズを提供します。デジタルイメージング検出器は、高解像度の画像を提供し、他の分析技術とのさらなる相関のためのマスクやウェーハのさまざまな領域の選択と比較を可能にします。また、強力なキャリブレーションとアライメント機能も備えています。統合された光学アセットは、光源が完全な画像キャプチャのために迅速かつ正確に画像検出器にキャプチャ、輸送、および配信されることを保証します。このモデルは、詳細な表面解析を提供するだけでなく、特徴と欠陥検出も提供します。パターンの歪み、欠陥、汚染物質、その他の興味深い機能を検出するための高度なアルゴリズムを備えています。また、より高いスループットでパフォーマンスを向上させる減速光源も含まれています。AMAT Compass Pro 300マスク&ウェーハ検査装置は、包括的なマスクおよびウェーハ分析のための強力なツールです。それは高い収量を達成し、ユーザーが競争に先んじていることを可能にする。その精度と再現性により、高度なリソグラフィおよび半導体プロセスの品質管理に最適です。
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