中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Compass Pro 300 #293607489 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Compass Pro 300は、高解像度マスクとウェーハ検査装置です。このシステムは、ウェーハサンプルの空中および集中イメージングに、正確で信頼性の高い方法論と、完全な検査のための迅速な取得時間を提供します。このユニットは、ファブパラメータの自動検査やCRM検査など、さまざまな検査シナリオでの使用に適しています。AMAT Compass Pro 300には、コントローラ、ステッピングモーター、モーションコントロールステージ、および使いやすいタッチパネルディスプレイが含まれています。また、370〜1050 nmの広い波長範囲と10kHzの高い反復速度を持つ高出力ダイオードポンプ固体（DPSS）レーザーを提供しています。2 x 2「または4 x 3」視野は、PINダイオードおよびIRCCDカメラセンサーと組み合わせて、1 μ mまでの解像度でインフォーカスイメージングを可能にします。さらに、CCDカメラは、フルフィールドで256グレーレベルと4ms露光時間を提供します。このマシンは、正確で反復可能なパラメータスキャンを保証するために自動化された複数の実行モードを備えています。一方、アクティブな照明制御ツールは、レーザー出力やスキャン速度などの調整可能な動作パラメータを可能にします。ソフトウェアオプションには、手動および自動化された制御モード、ならびに自動欠陥検出および分類資産が含まれ、迅速かつ正確な検査結果を提供します。また、オプションのDLI （Die-Level Inspection）サンプルステージを搭載し、ダイレベルコンポーネントを容易に検査することができます。DLI装置には、サンプルハンドリングオートメーション、自動ウェーハステージセンタリング、サーフェストラッキング、およびダイレベルオートフォーカスおよび欠陥解析が含まれます。さらに、APPLIED MATERIALS Compass Pro 300には、高い偏光コントラストSV画像を作成するためのレンズやフィルタータレット、フロントエンドレンズ、ビームサンプラー、減衰器、オプションのサーマルプレートなど、さまざまなアクセサリーが付属しています。このシステムは、制御された雰囲気の下で重要なコンポーネントを検査するのに適した保護雰囲気バージョンで利用可能です。Compass Pro 300は、マスクとウェーハの両方を迅速かつ正確に検査するために、正確で信頼性の高い結果を提供するように設計されたユーザーフレンドリーなユニットです。オプションのダイレベル検査と各種アクセサリを備え、既存のファブ環境に適合するコンパクトなマシンで、さまざまな検査シナリオを実現します。高解像度イメージング、高速取得時間、自動化されたプロセス制御により、さまざまな検査要件に理想的であり、重要なコンポーネントの検査に革命をもたらすことを約束します。