中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Compass 200 #9280961 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Compass 200は、0。25 µmの寸法までの高度な構造の特性評価を提供する包括的なマスクおよびウェハ検査装置です。高解像度イメージング機能を備えた高精度光学検査が可能で、焦点深度やエッジ解像度に優れています。これは、さまざまなパターン検査タスクの迅速なセットアップと最適化されたプロセス制御を可能にするさまざまなソフトウェアツールを備えた統合ソリューションです。業界標準のAllegroマスク検査スイートと統合されており、1時間あたり最大200ウェーハの効率的なスループットを提供します。このユニットは、オーバーレイアライメントやリソグラフィ検証など、多くの重要な測定を実行するように設計されています。ウェーハオプションには高度なCCDおよびレーザーダイオード技術、マスクアライメントにはビデオアラインレーザーを使用し、スムーズで信頼性の高いパターン検査結果を保証します。機械はまた、高精度の機械部品と再現可能な結果を保証する完全なオートメーションから恩恵を受けます。これにより、顧客のすべての要件が満たされるようになります。さらに、AMAT Compass 200は、接触穴、ビア、マスクパターン内の線などのより複雑な構造のためのパラゴンパターン認識を提供します。この機能により、各フィーチャーの個々の特性を組み込みのルールに基づいて認識し、そのサイズと間隔を測定できます。これにより、検査プロセスの時間と労力を削減し、精度を向上させます。このツールはまた、3Dイメージングモジュールを備えており、優れた深度抽出精度と強化された品質管理を提供します。これは、欠陥または再作業の数を減らすのに役立ちます。さらに、事前に定義されたCDバリエーションとプロセスノードの豊富なライブラリにより、効率的なマスクレビューが可能になり、時間の節約と正確な結果が得られます。APPLIED MATERIALS Compass 200の包括的なソフトウェアソリューションとハードウェア機能により、高速な検査速度で高精度の結果を保証します。これは、正確なリソグラフィ検証を保証し、プロセス制御のワークフローを改善したため、顧客にとって有益です。