中古 AMAT AERA II #293621241 を販売中

ID: 293621241
ヴィンテージ: 2012
Mask inspection system (2) Load ports Chamber.
AMAT AERA IIは、半導体製造事業で使用されるマスク、ウェーハ、部品を検査するために設計されたマスク&ウェーハ検査装置です。このシステムは、半導体ウェーハ上の印刷構造に関連する欠陥を検出し、歩留まり損失のコストを削減するために使用できます。AERA IIは、ウェーハの歩留まりと品質を最適化するために、マスクとウェーハの画像を欠陥のために収集し、分析することができます。AMAT AERA IIは、マスクやウェーハのバリエーションを何百種類もサンプリングして検査する高精度サンプリングツールです。デジタルカメラ、ストロボスコーピックカメラ、分光センサー、レーザー干渉計、デジタル画像処理システムなど、様々なセンサーや光学機器が搭載されています。また、洗練されたディスプレイマシンを備えており、平らなマスクと斜めのマスクの両方を同時に見ることができ、マスクパターンの迅速かつ正確な検査を可能にします。AERA IIは、1。8ミクロンの解像度と0。2ミクロンまでの感度で、あらゆる種類の収差を検査できます。最大85度の角度を持つトップダウン検査機能を備えており、欠陥の可能性が最も高い領域を特定するためのデータを提供できます。このツールには、直径5mmから40mmまでの広い範囲の光学系もあり、視野と倍率の広い範囲をユーザーに提供します。AMAT AERA IIは、ユーザーが特定のアプリケーションにマスク検査設定をカスタマイズすることができます。これには、マスクパターン判定、欠陥分類、バイナリ解析、パターンマッチングなどの機能が含まれます。このアセットには、過暴露、過暴露、ダークスポット、ストリークおよび劣化などのいくつかのタイプの欠陥を検出できる自動欠陥解析モデルもあります。AERA IIの主な特徴の1つは、高速性能です。ウェーハやマスクを毎分数百枚まで検査することができます。これにより、検査結果を迅速かつ正確に生成することができ、半導体メーカーの高い歩留まりとコスト効率を確保します。AMAT AERA IIは半導体産業にとって貴重なツールです。洗練されたセンサーと光学系により、欠陥を迅速かつ正確に識別でき、カスタマイズ可能な設定により、ユーザーは特定のアプリケーションにマスク検査プロセスを調整することができます。高速性能により、生産コストを最小限に抑え、歩留まりを向上させます。要するに、AERA IIはあらゆる半導体メーカーにとって不可欠なツールです。
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