中古 ALLTEQ LFI 3010 #9299339 を販売中

ALLTEQ LFI 3010は、最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。この最先端のシステムは、半導体製造のためのマスクとウェーハの製造のための最高品質の基準を確保することができます。LFI 3010は、フラットパネル、曲面パネル、3Dトポグラフィーなど、さまざまなマスクおよびウエハータイプを検査できます。0.5µm分解能、再現性1秒の精度で検査できます。1時間あたり最大600個のダイを検査でき、ミクロンレベルの精度を正確に読み取ることができます。ALLTEQ LFI 3010には、マスクやウェーハ表面から汚染物質や異物を検出して除去できる自動非接触ビジョンユニットが付属しています。また、0。75nm以上のライン端の粗さなどの欠陥を検査することもできます。さらに、トリミング、ボンディングの問題、アスペリティなどに関連する欠陥を検出することができます。さらに、LFI 3010には、欠陥を検出および定量化するための画像をキャプチャおよび分析する高解像度デジタルカメラも装備されています。また、将来のレビューや分析のために画像や製品データを保存することもできます。また、検査プロセスを構成するために使用できるユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えています。ALLTEQ LFI 3010はまた、高精度と効率を確保するために、いくつかのオートメーションシステムを備えています。完全にプログラム可能なロボットを内蔵しており、検査用のマスクやウエハーの搬送が可能で、修理やリワークの部品も取り扱うことができます。全体として、LFI 3010はマスクおよびウェーハの製作の最高レベルの質そして正確さを保障できる高度機械です。それは製造される各製品がすべての指定および望ましい条件を満たすことを保証できます。自動化されたシステムは、プロセスが一貫しており効率的であることを保証し、あらゆるウェーハ検査ツールに最適な結果を提供します。