中古 ALLTEQ LFI 3010 #9266249 を販売中

ALLTEQ LFI 3010は、半導体製造の品質保証を向上させるために設計された汎用性の高い自動マスクおよびウェーハ検査ソリューションです。LFI 3010は、高度な光学計測装置により、幅広い基板の欠陥を検出するだけでなく、マスク自体の重要な構造を測定します。システムは高度な画像処理とモザイク技術を使用して、ステッチや反復なしで連続した全視野を作成します。これにより、レイヤーまたはフィールド全体の単一のスキャンが可能になり、迅速かつ正確な欠陥検出、測定、および特性評価が可能になります。ALLTEQ LFI 3010はまた、マイクロソリューションとマクロソリューションのイメージング機能のユニークな組み合わせを備えています。マイクロレベルでは、高度な後方散乱画像を使用して、微細な構造上の下層欠陥と重要な構造を識別および測定します。マクロレベルでは、コントラスト画像と背面散乱画像の組み合わせを使用して、幅広い基板上のピンホールなどの表面欠陥を識別および測定します。さらに、欠陥タイプ、そのサイズ、形状、およびその他の特性を迅速かつ正確に識別するために、完全に自動化された欠陥分類プロセスが装備されています。これは、適切な故障解析方法をトリガーして、生産ラインの問題を特定してトラブルシューティングするために使用できます。全体として、LFI 3010は効率的で信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査ツールであり、幅広い機能を備えています。高度なイメージングおよび欠陥分類アルゴリズムにより、幅広い欠陥や傷を容易に検出および測定することができます。さらに、欠陥分類プロセスの自動化により、欠陥解析プロセスが簡素化され、合理化され、生産ラインの効率が向上します。