中古 ALLTEQ LFI 3010 #9028586 を販売中

ALLTEQ LFI 3010マスク&ウェーハ検査装置は、半導体メーカーや欠陥検査機能を必要とするその他の業界向けに設計された、自動、高精度、非接触、3次元検査および計測プラットフォームです。シリコンウェーハ表面にレーザー干渉計を使用して、異物や欠陥などの異常を正確に検出、分析、測定します。システムは、多軸ステージ、レーザー干渉計、カメラ、コンピュータに接続するためのモニター、レーザー源、および自動制御ソフトウェアで構成されています。ステージは試料の周りを回転するように設計されており、レーザービームがウェーハの表面プロファイルを追跡することができます。レーザー干渉計は、3次元の表面形状を1nmの精度で測定します。モノクロのデジタルカメラは、ウェーハ表面に物体や不明瞭さを反射する画像を撮影します。レーザー光源は、マスクからウェーハ上のパターンを照らし、3ナノメートルの欠陥を検出します。ソフトウェアユニットは、3ナノメートルの欠陥と表面プロファイルの偏差を識別して検出するようにプログラムされています。それは塵、傷、汚染および他の非均一性のような異物の広い範囲を検出できます。このマシンは、ウェーハ全体をスキャンし、欠陥を検出し、それを特徴付け、3Dで測定し、重症度に応じて分類するようにプログラムすることができます。欠陥が特定されると、重症度に応じて分類され、3D画像が生成されます。LFI 3010はユーザーフレンドリーで操作しやすいように設計されています。これは、ユーザーが自動ビジョンツールを監視し、その機能にアクセスすることができます便利なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が装備されています。アセットの自動操作により、ユーザーはウェーハの欠陥を素早くキャプチャ、分析、評価することができます。ALLTEQ LFI 3010は、欠陥や欠陥の検出と分析を必要とする半導体企業やその他の業界に最適です。これは、品質管理、迅速な問題解決、製品開発のための貴重なツールです。超高精度で非接触の3次元検査および計測機能により、LFI 3010は、重要な欠陥および欠陥を測定および検出するための費用対効果の高い効率的なソリューションとなります。