中古 ADE / KLA / TENCOR CR-81 #9102576 を販売中

ADE/KLA/TENCOR CR-81は、半導体および集積回路製造業界向けに設計された先進的なイベント駆動型マスクおよびウェハ検査装置です。ウェーハとマスクの両方にある重要なフィルム層の欠陥を、比類のない速度と精度で測定および分析することができます。このシステムには、ADE （Advanced Defect Evaluation）、 KLA （TENCOR）、 ADE/KLA/TENCOR （TEM Imaging）の3つの主要な技術が含まれています。この組み合わせは、画像データに基づいて微細な欠陥、異物、さらには隠れた欠陥を検出し、イメージングを超えたマスク検査とウェーハ検査の両方に高度な機能を組み合わせることができます。ADE CR-81は、特殊な走査型電子顕微鏡（SEM）カメラを使用して、ウェーハまたはマスクの表面の息をのむほど詳細な3D画像を生成します。これにより、他のほとんどの検査システムの解像度を下回る表面欠陥と地下欠陥を検出することができます。このユニットは、高度なアルゴリズムを使用して欠陥解析を実行し、3D画像データの疑わしい形状やパターンを自動的に識別し、さらなる検査のためにそれらにフラグを付けることができます。プロセスの任意の時点で、オペレータは手動制御を取り、さらにフラグの付いた欠陥を分析することができます。KLA CR-81は検査ロボットと統合されており、大量のウェーハやマスクを自律的に検査することができます。これにより、オペレータは手動システムと比較して効率が向上します。上記の機能に加えて、このマシンには故障分離および解析用の組み込みソフトウェアツールが付属しています。これにより、エンジニアは欠陥の原因を理解し、将来的にそれらを排除するための是正措置を迅速に実施することができます。結論として、TENCOR CR-81は信じられないほど強力で有能なマスクおよびウェーハ検査ツールです。高度な検出技術と統合されたロボットの組み合わせにより、マイクロスケールの欠陥を迅速かつ正確に検出することができます。これらの欠陥の原因を迅速に分離および分析することができるCR-81は、幅広い集積回路製造プロセスにおいて非常に貴重なツールです。