中古 ADE / KLA / TENCOR 351 #9008897 を販売中
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ADE/KLA/TENCOR 351は、生産監視のための効率的で汎用性の高いプラットフォームを提供するように設計された自動マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、ハードウェア、ソフトウェア、およびデータ評価技術の革新的な組み合わせを備えており、さまざまなタイプのマスクやウェーハにわたって迅速かつ正確な欠陥検出を提供します。ADE 351の最初の主要コンポーネントは高解像度カメラで、スキャンされたウェーハやその他のオブジェクトの高精細画像をキャプチャできます。これらの画像は高度なアルゴリズムを使用して処理され、ユニットはマスクやウェーハの微妙な特性や欠陥を分析して検出することができます。これは、視覚的識別技術と自動パターン認識技術の両方を使用して行われます。機械の第2の部品は人間の目に見えない微妙な特徴の検出を可能にする照明用具である。これには、サブピクセル境界エッジ、抵抗、異方性、およびその他のパターンなどの機能が含まれます。照明アセットにより、従来の検査システムよりも小さなマスクやウェーハをスキャンすることもできます。機器のハードウェアおよび画像処理コンポーネントとともに、KLA 351は専用ソフトウェアも備えています。これには、スキャンするマスクまたはウェーハの所望の領域を簡単に選択するための、ポイント&クリックのユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)が含まれます。また、多数の自動データ解析ツールを備えており、欠陥サイズ、形状、向き、抵抗などのさまざまなパラメータを迅速かつ直感的に測定できます。さらに、ソフトウェアには、さまざまな種類の欠陥を検出するためのさまざまな洗練された検出器が含まれています。最後に、TENCOR 351は、高度な後処理とレビュー機能も提供します。これらには、自動欠陥サマリーレポート、詳細欠陥分析、欠陥マップなどが含まれます。これにより、ユーザーはマスクおよびウェーハ検査システムの性能を迅速に評価し、必要に応じて調整することができます。全体として、351はマスクおよびウェーハの点検のための高度で、有効な単位です。高解像度カメラ、高度な照明、専用ソフトウェア、および強力な後処理ツールを組み合わせることで、マスクやその他のオブジェクトの迅速で正確で信頼性の高い検査を提供できます。信頼性と使いやすさを兼ね備えた自動マスクおよびウェーハ検査機をお探しのお客様に最適なソリューションです。
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