中古 ACCRETECH / TSK Win-Win 50-1600 #9353791 を販売中

ACCRETECH / TSK Win-Win 50-1600
ID: 9353791
ウェーハサイズ: 12"
Bright field inspection system, 12".
ACCRETECH/TSK Win-Win 50-1600は、現代の半導体製造のニーズを満たすように設計された高度なマスクおよびウェハ検査装置です。マスク検査、ウェーハ検査、計測、欠陥検査を同時に行うことができます。TSK Win-Win 50-1600は、10 x 10nm3の分解能機能を提供する光学マスク検査にModulated Bright Field Inspector (MBI)技術を使用しています。MBIシステムにより、従来のマスク検査プラットフォームよりもさらに小型でハイエンドの半導体部品を最大4倍高速で検査することができます。また、超低ノイズイメージングにより、最小欠陥でも優れた検出が可能です。このユニットのウエハ検査機能には、オーバーレイ測定、パターン配置、欠陥検査、オーバーレイ比較、および自動表示フィールド測定が含まれます。ウエハ検査は、ULK標準ルールに基づき、Level1、 Level2、 Level3など幅広い検査基準を使用して、正確かつ迅速に行うことができます。ACCRETECH Win-Win 50-1600は、IMEC、 Black-Background、 Dark-Background、 HP-RGBZ、 HP-RGBZ、 LEFTおよびRIGHT Gateなどの標準的なプロセスとテクノロジーにも対応しています。Win-Win 50-1600は、プロファイル測定、スケーリング、傾き測定、膜厚測定、マイクロドット/穴測定、パターンスキューなどの計測機能も提供しています。また、ピッチ、ブリッジ、オープン/ショート、分割、コンタクトホール、ピンホール、拒否など、幅広い電気、光学、機械的欠陥を検出できる欠陥検査も備えています。ACCRETECH/TSK Win-Win 50-1600は、スループットと品質を向上させるために、生産ラインに簡単に統合できます。優れたコンポーネントアーキテクチャ、柔軟なネットワーキング、高度な省電力機能により、優れたパフォーマンスと信頼性を提供します。また、さまざまな半導体製品のニーズに対応するために、幅広いレンズとステージ構成をサポートしています。全体として、TSK Win-Win 50-1600は、歩留まりの改善と欠陥の低減を求める最新の半導体工場に最適なマスクおよびウェハ検査ツールです。
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