中古 ZEISS CDC32 #9386127 を販売中
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ZEISS CDC32は、主に半導体チップ製造に使用される先進的なマスク生成および生産装置です。正確なパターニングとクリティカルなオーバーレイ精度を提供するように設計されており、歩留まりの高い高性能デバイスの生産を可能にします。その機能には、ダイレクトパターニング用の波長選択可能なレーザーソース、高度な製造およびマスキング技術、および自動化された機器管理およびプロセス監視が含まれます。ZEISS CDC 32システムに3つの主要な部品があります；ダイレクトライトリソグラフィーユニット、マスク製造および計測機、機械自動化ツール。ダイレクトライトリソグラフィ資産はモデルの基礎であり、エキシマパルスレーザー技術を使用してチップウェーハを直接並列アーキテクチャでパターン化します。このレーザーによって許される高エネルギーは5-20nmの正確さの500nm構造を引くことを可能にします。この解像度は非常に正確で、現代の3D （3D）プロセッサ設計で使用すると、複雑なメモリアーキテクチャを可能にします。フォトマスクを作成するプロセス全体を自動化するため、マスク製造および計測機器も同様に重要です。フォトマスク全体の計測画像を高速で処理する最先端の光トモグラフィーモジュールを使用しています。このモジュールは、フォトマスクをパターン化して測定し、マスクがデザインに従っていることを確認します。設計が検証されると、システムは印刷される生産ステーションに送信されます。自動化された機器管理ユニットは、設計仕様に正確に準拠して、機械全体がピーク効率で動作することを保証します。定期的にクリーニングツールを自動的に制御し、計測機器、マスク製造機、レーザーの定期的な校正もスケジュールします。CDC32アセットは、最高レベルの設計とパターニング精度を提供し、複雑な高性能デザインを最大限の精度で作成することができます。それは信頼でき、有効なマスクの生成及び生産モデルを捜している破片の製造業者のための完全な選択である。
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