中古 ZEISS CDC32 #9222612 を販売中

ZEISS CDC32は、リソグラフィープロセスに使用されるマスク生成および生産装置です。IBM対応PCワークステーションとZEISS SEM8900 Scan Electron Microscope （SEM）をベースとしています。ZEISS CDC 32システムは、高度なSEM技術とソフトウェアベースのユニットの両方を組み合わせています。SEM8900は、高分解能イメージングを提供し、フォトマスクの作成と修正に使用される電界放射走査電子顕微鏡です。二次電子検出器や後方散乱電子検出器などの各種検出器を搭載し、試料上の様々な特徴を画像化することができます。ソフトウェアベースのマシンには、ユーザーがフォトマスクのデザインを簡単に作成および操作できるグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）と、結果として得られるデザインを保存するデータベースが含まれています。CDC32ツールには、効率的なマスク設計を可能にするいくつかの機能があります。まず、目で識別するには小さすぎる標本上の特徴を識別することができる機能抽出ツールを備えています。また、デザインを手動で操作することなく、複数の画像をデータベースにアップロードできる「ターンキー」機能も備えています。さらに、アセットにはZ軸スキャンを搭載し、立体的な画像を提供します。CDC 32モデルは、さまざまな用途で高精度なマスクを作成することができます。六角形、フラクタル形状など、さまざまなデザインオプションを提供しています。また、サイズ、位置、溝の深さ、ビームペンサイズなど、さまざまな設計パラメータを提供しています。さらに、ソフトウェアベースのシステムでは、画像機能を追加、変更、または削除するためのマスクの設計後の変更が可能です。最後に、このユニットはフォトリソグラフィープロセス制御のためのツールを提供します。これらのツールには、線量や露出時間などのプロセスパラメータが含まれます。このマシンはまた、プロセスの最適化を可能にするために、リソグラフィープロセスに関するフィードバックを提供することができます。要するに、ZEISS CDC32ツールは強力で汎用性の高いマスク生成および生産ツールです。SEM8900 Scan Electron Microscopeとソフトウェアベースのアセットに基づいており、効率的なマスクの設計と操作を可能にするさまざまなツールと機能を提供します。さまざまな用途で高精度なマスクを作成でき、プロセス最適化のためのリソグラフィープロセスに関するフィードバックを提供できます。