中古 TAMARACK PRX 5000/1000 #9268761 を販売中

TAMARACK PRX 5000/1000は、業界最高の生産効率と最高の生産性をユーザーに提供するように設計された先進的なマスク生成および生産設備です。ウェーハパターニング、大量製造、高度なマスク検査など、フルサービスのマスク生成および生産アプリケーション向けに設計されています。このシステムは、QuadTech Oculon9やRicoh R-Laser 2000などの高度なリソグラフィーシステムに基づいています。高解像度、複数の露出ヘッド、検査ユニットを内蔵し、最高品質のマスクを保証します。TAMARACK PRX 5000/1000は、X軸とY軸の両方で最大0。15ミクロンのリソグラフィ精度を持ち、最大チップサイズは10 x 10mmです。このマシンは、デザインルールライン、トレンチ、ピット、その他の微生物など、さまざまなタイプの機能サイズを処理することができます。また、複雑なマルチレベル構造にも対応できます。このツールには、レーザーダイレクトライタ、デュアルレーザースキャナ、および最高レベルの精度と精度を提供する光学検査資産が装備されており、フルサービスマスクの生成と生産の要求を満たしています。このモデルは、生産サイクルと検査サイクルの両方で最大限の再現性を提供し、高いレベルの製品品質と信頼性を提供します。また、この装置は高度に自動化されており、統合された診断ツールを備えており、リソグラフィの実行を監視し、データの整合性を監視し、マイクロチップの生産における誤動作の可能性を検出します。また、パターン認識と検査ツールを内蔵しており、マスクの欠陥を検出することができます。TAMARACK PRX 5000/1000は、マスクの生成と生産のために設計された高度なハードウェアとソフトウェアを最大限に活用します。高速・高精度に加え、リソグラフィー走行の拡張、マスク生産台数の拡大、リードタイムと生産コストの削減を可能にします。マシンには、ツールのインストール、セットアップ、操作、およびメンテナンスを支援するためのマニュアルやチュートリアルも含まれています。これらの機能はすべて、TAMARACK PRX 5000/1000をフルサービスマスク生成および生産アプリケーションに最適です。