中古 TAMARACK 162D #9130935 を販売中

TAMARACK 162Dは、大量生産用に設計されたMOCVD Mask Technologiesの包括的なマスク生成および生産装置です。これは、マスク生成機能の広い範囲と複雑な電子ビームリソグラフィーアプリケーションのための高度な設計を持っています。このシステムは、精密なモータ駆動XYZアライメントとレーザーアライメントされたターゲットポイントを備えた高度なステップ&リピートマスク生成ステージを利用しています。これにより、各ステージでマスクが正確に複製されます。マスク生成ソフトウェアにより、高度な解像度機能を備えた機能をCADレベルで操作できます。これはマスクの設計のための優秀な制御そして精密をユーザーに与えます。また、複雑なライン間隔やマルチレベルの機能詳細など、高度な複雑さの設計にも対応しています。このマシンは、高スループットプロセスを使用して、マスクパターンの最高精度を生成します。高速スキャンタイムや高解像度ステージなどの機能を備えており、大規模なマスクパターニングが可能です。これには、完全に自動化された光学位置決めユニットや可変ステップサイズなどの機能が含まれます。レーザースルーマスクやeビームなど、幅広い露出をサポートします。これにより、最高品質の結果を保証しながら、可変露光時間と精度を可能にします。さらに、複数のレベルの保護環境とプロセスの制御を提供します。マスク生成ステージは、最大12レベル/自由度のマスクをサポートし、最小線幅5ミクロンの0。25ミクロンまで正確な機能配置を実現します。マスク生産のために、それはさまざまな裏付けおよび基質材料を支え、マスクのサイズのフルスペクトルを備えています。このデザインは、複数のバックサイド機能もサポートしています。162Dは高速、高解像度、大量生産のために設計されています。その特徴はマスクの生産のための費用効果が大きい製造業の解決を提供します、それは急速に彼らのマスクの生産能力を高めたいと思う企業にとって理想的にします。高度な設計と処理能力により、ユーザーはマスク設計において高い精度と精度を達成するために必要な柔軟性と制御を提供します。