中古 TAMARACK 142 #9214869 を販売中

TAMARACK 142は、高性能ウェーハスケールのリソグラフィ用に設計されたモジュラーマスク生成および生産装置です。このシステムは、自動露出装置、自動リソグラフィ最適化マシン、自動ウェーハアライメントツール、自動マスク検査アセットなど、いくつかのモジュールで構成されています。この自動露出モデルには、複数の高出力レーザダイオードとレーザー焦点距離制御装置が含まれています。これにより、高収率で多種多様な露光パラメータと再現可能な露光を提供することができます。自動化されたリソグラフィ最適化ユニットは、所望の機能を達成するために必要なリソグラフィプロファイルを最適化するために、事前に決定された測定プロセスのセットを実行することができます。自動化されたウェーハアライメントマシンは、既製の非接触および真空アライメントシステムと統合されており、繰り返し可能で正確なウェーハアライメントを提供します。自動化されたマスク検査ツールは、SEMやX線イメージングなどのイメージング技術を組み合わせて、マスクの欠陥やバリエーションを正確に検査します。このアセットは高度なオートメーションと制御モデルで設計されており、ユーザーはマスクのデザインをアップロードし、露出パラメータを制御し、リソグラフィとウェーハのアライメントプロセスを最適化することができます。また、装置は、すべてのプロセス手順をリアルタイムで監視することができ、詳細な分析レポートを提供します。全体的に、このシステムは、忠実度の高いリソグラフィーとアライメントを備えたマスクを製造するための使いやすく、信頼性が高く、繰り返し可能なプロセスを提供します。このユニットは、生成と生産のための細かく定義された高品質のマスクを製造するための効率的で費用対効果の高いソリューションを提供します。