中古 ORIEL 8520 #293608787 を販売中
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ORIEL 8520マスクジェネレーション&プロダクション装置は、多種多様なフォトマスク生産ニーズに適した高性能、次世代マスクアライナーです。このシステムは、最大限の柔軟性、正確性、歩留まりを提供するように設計されています。8520は、特許取得済みのESGES (Expanded Unit Generation and Evaluation Software)を使用して、業界最高品質のフォトマスクを製造しています。まず、ESGESソフトウェアは特殊なアルゴリズムを使用してフォトマスクパターンを生成します。パターンが生成された後、マシンは、パターンがウェーハ上に正確かつ正確に配置されていることを確認するためのアライメントテストを実行することができます。このツールは、高度な投影光学系と明確に定義されたアライメント技術を使用して、アライメント精度とスループットを向上させます。ORIEL 8520には、効率的な洗浄技術と品質管理技術が組み込まれており、フォトマスクが厳格な仕様を満たしていることを確認しています。フォトマスク表面からの汚染を迅速かつ効果的に除去できる高効率のイオンエッチング洗浄アセットが含まれています。また、FTIイメージコントロールヘッドを内蔵しており、ファインラインパターンのレプリケーション精度を測定できます。8520はユーザーフレンドリーに設計されており、簡単な操作アイコン、コマンド、メニューを備えた大型LCDタッチスクリーンを提供しています。また、リアルタイムで処理条件を自動的に調整できるインテリジェントなプロセスコントローラも備えています。これは、高いフォトマスク生産量を維持しながら、スループットを向上させるのに役立ちます。ORIEL 8520は、業界の挑戦的なフォトマスク生産要件を満たすために、マスクの生成と生産の最新技術を提供しています。優れた性能により、8520マスク生成および生産装置は、ハイエンドのフォトマスク生産ニーズに最適です。
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