中古 ORIEL 8405 #9261501 を販売中

ORIEL 8405は革新的なマスク生成と生産装置で、さまざまなプロセスやアプリケーションのためのリソグラフィックマスクを作成するために使用することができます。8405は、FUJI ノンストップFPA 9000誘電マスクマークシステムと組み合わせて、FUJIFILM Arcus Eシリーズ光学ステッパー/スキャナの高度な投影光学を使用して、高精度で再現性の高い高品質マスクを製造しています。ORIEL 8405は、シングルマスクとダブルマスク、インバースマスクの製造が可能です。高輝度均一性と低線量、空間パターン歪みを兼ね備えた2kW Xeランプイルミネーションユニットを搭載し、様々なリソグラフィ作業に最適です。照明機械は15mm、 20mm、 30mm、 40mm、 50mm、および60mmマスクサイズ間の選択を可能にする光学シャッター用具で造られて特色にします。また、最新のチラーを使用した露出ユニットも備えており、露出時間の短縮とサーマルドリフトの最小化を実現しています。8405モデルはまた、露光源からの光度を正確に測定するための高度な放射計を利用しています。これは、印象的な光学倍率を提供するデュアルミラーF -Thetaレンズからなる中央イメージング装置を持っています。また、CCD （Charge Coupled Device）センサーを採用し、解像度を高め、優れたリピート画像機能を提供します。ORIEL 8405ユニットは、グレースケールとカラーだけでなく、正と負の両方のパターンを処理することができます。リニアライゼーション、ミッドトーン補正、フレア補正、ノイズリダクション、コントラスト調整、ガンマ補正などの複数の画像処理機能を備えています。さらに、このツールには自動アライメント機能、ジャンプアライメント機能、ドリフト補正機能もあります。また、資産の分解能、線幅、収差をチェックするためのテストパターンを生成することもできます。最後に、8405にはWindowsベースのマスクエディタとサポートソフトウェアが付属しており、露出/露出時間、パターンタイプ、ライトレベルを選択できます。このソフトウェアには、マスクの効率的な製造を容易にするためのさまざまな機能も含まれています。結論として、ORIEL 8405は強力で信頼性の高いマスク生成および生産モデルであり、高精度で再現性のあるリソグラフィックマスクを作成するために使用できます。高度な投影光学、効率的な照明装置、サポートソフトウェアにより、このシステムは幅広い用途に使用できます。