中古 ORIEL 8405 #9214873 を販売中
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ORIEL 8405は、高品質、高解像度のリソグラフィーマスクを必要とするお客様の要求に応えるように設計されたマスク生成および生産設備です。この信頼性の高いリソグラフィーシステムは、半導体、MEMS、マイクロ流体、およびその他の高度なアプリケーション向けの高品質マスクの完全かつ正確で迅速な生産を提供します。このユニットは、今日の要求の厳しいニーズを満たすために、革新的で自動化されたマスク生成プロセスを備えています。このマシンは、フォトリソグラフィー光学ツール、マスクマスタージェネレータ、マスクメイキングユニット、マスクラップユニットの4つのコアコンポーネントで構成されています。Photolithography Optics Assetは、レーザマイクロ波長露光ヘッド、高感度レーザー検出モジュール、集中真空吸着テーブル、および外部シーケンシャルバッチ処理モデルで構成されています。これらのコンポーネントは、マスターマスクに必要なパターンを正確にスキャンして露出する責任があります。マスクマスタージェネレータは、非常に多様なジオメトリから詳細で正確なリソグラフィックマスクを製造することができる精密に調整された洗練された装置です。高度なアルゴリズムにより、個々の回路要素とレイアウトパターン全体を正確に作成できます。マスクメイキングユニットには、高度なマスクプロセッサ(MP)、自動化されたフラットパネルディスプレイプラテン、および高度な真空露出制御システムが装備されています。マスクプロセッサは、最大15 minの速度で高品質のマスクを生産するように特別に設計されており、液晶マスクやOLEDマスクをサポートするなどの高度なオプションを生産することができます。フラットパネルディスプレイプラテンは、フレックスモードと垂直モードメッキの両方のオプションを提供し、生産のためのマスクプレートの信頼性の高いメッキを担当しています。高度な真空露出制御ユニットは、正確で再現可能な露出を確保するために、レーザーと連携して動作します。マスクラップユニットは、マスキングテープラッピングマシンとマスクマッチングローラーの2つの統合部品で構成されています。マスクテープ包装ツールは、特殊な接着剤/カーボン注入マスキングテープでマスクプレートを正確かつ迅速に包むために使用されます。マスクマッチングローラーを使用して、マスクプレートをアセット内に正確に配置し、最適な露出とラッピングを実現します。これらの2つのコンポーネントの組み合わせは、高品質のマスクを迅速かつ高い精度で作成します。このモデルの利点には、スループットの向上、検証時間とコストの削減、チップの安定性と再現性の向上、マスク生産の制御の強化、欠陥と再作業の減少、拒否の最小化などがあります。8405マスクの生成および生産設備はワンストップのマスクの生産サービスを追求する顧客のための信頼できる、高度、完全な解決を提供します。
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