中古 MICRONIC MP-80 #9153039 を販売中

MICRONIC MP-80は、MEMS、化合物半導体、ICの製造に必要な高解像度マイクロマスクを迅速に製造するために設計されたマスク生成および生産装置です。動作中、MP-80はフルサイトの直接書き込み電子ビームを使用して、0.1µmのような小さな臨界寸法のマスクを正確に生成します。このシステムには、マスク基板のXYZ移動のための高精度翻訳ステージと、一貫した画質を確保し、ミスアライメントエラーを低減するためのソフトウェア制御光学ユニット（SCOS）が装備されています。さらに、MICRONIC MP-80は革新的な低損失電子ビーム露光ツール（LET）と統合されています。このツールは、電子ビームが常に焦点を合わせることを保証し、その場でマスクの潜在的な表面輪郭を補償します。これは、電子ビームの位置をリアルタイムで測定し、それに応じてビームの焦点を調整することによって達成されます。MP-80はまた製造前にマスク材料の基質のゆがみおよび他の欠陥を検出するために現地の平坦の測定機械が装備されています。MICRONIC MP-80も使いやすいように設計されています。ユーザーインターフェイスにより、ユーザーは直感的に既存の図面からマスクを設定して実行するか、独自のデザインを作成できます。マスクデータ処理、機能配置、検証、ビームシェーピングツールなどの機能は、すべて付属のソフトウェアパッケージで利用できます。このツールには、マスクデザインにすばやく組み込むことができる標準的なエレメントパターンのライブラリも付属しています。MP-80は、マスクの生成と製造のための信頼性の高い、信頼性の高い資産です。高精度なドライブモデルと高度なプロセス制御機能により、1時間で72枚のマスクを処理し、0.1µm分解能を実現します。これにより、MEMS、化合物半導体、ICの製造における幅広い用途に最適です。