中古 DAVID MANN / GCA 3696 #9283456 を販売中

DAVID MANN/GCA 3696は、次世代のマルチサイクルマスク生成および生産装置です。最先端のリソグラフィ技術とプロセス技術を活用し、コスト効率の高い製造環境で高解像度のカスタマイズされたマスクパターンを提供します。GCA 3696は、複雑なフォトマスクパターンを迅速、正確、確実に生成、処理、検査できます。ステッピングレベルのプロジェクションオプティクスを搭載しており、最先端のリソグラフィに必要な最高出力と分解能を実現しています。1パターンにつき最大4回の露出を処理できる自動露出システムを備えており、精度とマスクの複雑さを高めます。DAVID MANN 3696は、振動レベルと構造熱膨張を劇的に低減する新しいフレームコンセプトを備えた、高水準の機械設計を備えています。また、高度な制御システムを使用して、正確で信頼性の高い製造および検査プロセスを保証します。精度だけでなくスループットも最適化する自動アライメントと配置ユニットを備えています。さらに、3696は高度な欠陥検出能力を提供します。その多層システムは、ボイド、エッジ欠陥、傷、薄型化、サイドウォール欠陥、欠落している機能、破片などの複数の欠陥を識別することができます。高度な画像処理技術を駆使することで、10nm以下の解像度の欠陥を高感度で検出することができます。このツールは、BGA、 BSR、 DAL、 ESR、 FPGA、 GDS-IIなどのさまざまなマスクフォーマットをサポートしています。また、VMEベースのC言語プログラム可能な制御資産との同期動作もサポートしています。さらに、デビッド・マン/GCA 3696は、長いウェハカセット寿命を持つローラライズされたウェハハンドリングモデルにより、生産性とコスト効率を向上させました。要するに、GCA 3696は、業界をリードするチップおよびフォトマスクメーカーの要求に応えるために、高解像度、高性能、高精度、および高い欠陥検出を組み合わせた完全なマスク生成および生産装置を提供します。