中古 VISION PRECISION GA 16 #9262207 を販売中

VISION PRECISION GA 16は、集積回路、メモリチップ、イメージングセンサーなどのウェハレベルのデバイスを製造するために設計されたマスクアライナーです。フォトリソグラフィーを使用して、フォトレジストコーティングされたシリコンウェーハからシリコンマスターマスク、または「アライナー」にパターンを複製します。ファイバーカップリングされたレーザー源から得られる2つの強力な赤光レーザービームを採用し、柔軟な光機械部品を通過して、マスキング層の露出を正確にパターン化し均一に制御します。レーザー光は、異なる波長に調整することができ、より高い解像度と高いスループット率を可能にします。GA 16は、約25nmのアライメント精度で、アライメントプロセスにおいて並外れた精度と再現性を提供します。従来のフォトリソグラフィ法の10倍の精度で、より複雑なマイクロデバイスを作成することができます。また、自動顕微鏡とフィデューシャル認識を使用してウェーハをマスクに正確に合わせる自動ウェーハ位置決めユニットも備えています。また、複雑なパターニングニーズに合わせてビームパラメータを調整できる高度な光学要素も配列されています。VISION PRECISION GA 16は、可変スロープレチクルキャリアを使用して精度を微調整します。このキャリアは、ウェーハ上のマスクの正確でステップ賢明な登録を容易にします。多段式光学の配列は、照明とパターンの解像度を微調整し、特別なフィルタリングマシンは、汚染から光学系を迅速に保護することができます。露出プロセスは、さらなる露出の調整を提供する高精度の光学ロータリーシャッターを含みます。GA 16は、効率的で洗練された信頼性の高いマスクアライナーであり、人間の相互作用を最小限に抑えた自動モードで動作します。その機能により、マイクロデバイスの正確で費用対効果の高い生産が可能になり、マイクロスケールでパターンのレプリケーションを簡単かつエラーのないタスクにする多くの便利な機能を製造業者に提供します。