中古 USI PV480 #9183256 を販売中

USI PV480は、半導体デバイス製造などのフォトリソグラフィ用途に使用されるマスクアライナーです。高度なエッジ認識と精度制御技術を備えたレーザー干渉計を採用したハイスループット機です。PV480マスクアライナーは、リニアモータを基盤設計として使用し、より長い露光時間にわたって大きなパネル基板を細かく配置するように設計されています。マスクアライナーには、6インチウェーハと8インチウェーハの両方を収容するのに十分な広さのチャックテーブルも内蔵されています。このサイズにより、USI PV480はフラットパネルディスプレイなどの大型基板を扱うことができます。PV480は、基板のエッジを認識し、それに応じてレーザーのx、 y、 θ軸を同期させることにより、平坦度のバリエーションを計算的に補正します。これにより、基板は処理時間を通じて完全に整列したままになります。そのエッジ認識機能は、粒子や塵などの汚染を検出し、基板を自動的に補正して均一な露出を実現します。USI PV480は、正確に連続スキャンし、各露出の位置と角度を正確にマッピングするための高度なPoint to Pointアルゴリズムを提供します。600 x 600mmのフィールド全体の複雑さに対して+/-3 μ mの露出精度を提供することができます。PV480は、フォトリソグラフィに最適な出力スペクトルを備えた耐久性のあるキセノンランプを備えています。その低消費電力、低メンテナンス、高度な熱管理技術は、大量生産の下で信頼性の高い動作を保証します。USI PV480マスクアライナーには、レシピ開発用の直感的なソフトウェアパッケージが付属しています。これには、ユーザーインターフェイスからアライナーをすばやくプログラム、調整、監視、制御、トラブルシューティングするツールが含まれます。カスタマイズ可能なマスクエディタを備えており、マスクパターンを簡単に設計および検証できます。結論として、PV480マスクアライナーは、フラットパネルディスプレイ生産などの大規模フォトリソグラフィ用途に最適な高度なハイスループットマシンです。エッジ認識機能、均一な露出補正機能、正確なスキャン機能により、高解像度で正確な結果を最小限に抑えることができます。