中古 USHIO UX-4440 #9402609 を販売中

USHIO UX-4440は、日本のメーカーであるUSHIOが開発したマスクアライナーです。1ナノメートルの再現性を持つ5マイクロメートルの解像度で最大5マイクロメートルの微小回路構造を生成することができます。USHIO UX 4440は、0。5マイクロメートルまでの機能サイズのデバイスを製造することもできます。UX-4440はモジュラー構造を持ち、複数ステージのマイクロプロセッシングを1つのプラットフォームに統合することができます。これにより、深紫外線（DUV）や極端紫外線（EUV）リソグラフィなど、最も先進的なプロセスに最適です。さらに、UX 4440はウェーハのステップ処理とリピート処理が可能で、ポータブル家電のマルチビーン構造に最適です。USHIO UX-4440は、回路のパターニングにステップとリピート方法を使用します。これにより、製造工程で正確な精度が保証されます。システムの精度をさらに向上させるために、マシンは「双方向」アライメントシステムを使用しています。これにより、マスクとウエハーが毎回完全に揃っていることが保証されます。USHIO UX 4440は、マイクロサーキットの所望の構造に応じて設定できる露出パラメータの自動制御も備えています。さらに、露出平坦度の補正システムも備えており、ユーザーはパターン化されたマイクロサーキットの矛盾を避けるためにマスクのずれを調整することができます。UX-4440は通常のUVリソグラフィだけでなく、溶融シリカ、セラミック基板、ガラスなど幅広い材料を処理することができます。この複数のマテリアル機能により、マスクアライナーの汎用性が向上します。さらに、UX 4440は12インチのウェーハレベルのアライナーとして使用でき、少量生産に最適です。これらの機能を組み合わせることで、USHIO UX-4440は集積回路を製造するための強力で汎用性の高いマスクアライナーとなります。USHIO UX 4440は、高精度なマルチマテリアル機能と自動露出設定により、IC製造に最適なツールです。