中古 USHIO UX-4440 #9364543 を販売中

USHIO UX-4440
製造業者
USHIO
モデル
UX-4440
ID: 9364543
ウェーハサイズ: 2"-6"
Aligners, 2"-6".
USHIO UX-4440は、ナノ加工用途において非常に汎用性が高く高速に設計されたマスクアライナーです。4 「x4」アライメントフィールドを0。5 μ m(ミクロン)まで正確に備えており、多くの種類の基板に対応できます。高精度、長寿命、エアベアリング精密ステージを搭載し、高解像度のアライメントと高スループットを実現しています。高度なオートフォーカス・アルゴリズムにより、最適なアライメント精度と再現性、高速な解析時間を提供します。また、低振動プラットフォームを備えており、より高い精度と安定性を実現しています。10W並列UVキセノンランプは露光用に統合されており、完全に温度制御されたプラットフォームにより、クォーツマスクの信頼性と再現性を保証します。デジタルモーションコントローラは、再現可能な精度で高速動作を提供します。また、効率的かつ正確なマスクの作成を可能にする複数の露出機能、基板の高精度なアライメントカメラ、自動ステージキャリブレーション、超高速バキュームチャックなど、ユーザーのためのいくつかのオプションが装備されています。オンボードPCには直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)があり、マシンのすべての設定と機能にアクセスできます。このマシンはまた、柔軟なパターン転送ユーティリティを提供しているため、より複雑なパターン作成や検査プロセスに適しています。システムには、あらかじめ定義されたユーザプロセスパラメータまたはカスタマイズされたユーザプロセスパラメータのライブラリも付属しています。USHIO UX 4440は、ナノ加工プロセスで高精度、再現性、スループットを提供できる高度で高精度なマスクアライナーです。その柔軟性と使いやすさ、イメージングとアライメント機能を兼ね備え、高精度で信頼性の高い結果を必要とするアプリケーションに最適です。
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