中古 USHIO UX-4440 #293587280 を販売中

ウシオUX-4440マスクアライナーは、ナノメートルスケールの回路やデバイスを作成するために特別に設計された、洗練された信頼性の高いリソグラフィ機です。研究者や技術者が集積回路、膜、光電子材料やデバイスを作成するために使用するツールです。USHIO UX 4440は、4段ステッピングモーターと256 x 256ピクセルパターニングアライメント装置を内蔵しています。このシステムは、平均速度20〜30mm/sの3次元空間でウェーハステージを急速に移動させます。ステッピングモータは、さまざまな条件や基板に最適化するために、プロセスパラメータを微調整するためのユーザプログラマブル設定を備えたコントローラで制御されます。マスクアライナーは、0。8ミクロンまでの解像度を可能にする高度な液浸リソグラフィーユニットを使用しています。これにより、ウェーハ上のパターンの正確な配置とアライメントが保証されます。また、UX-4440には、マスクの装填、整列、露出のためのモーター付きマシンが内蔵されています。これにより、再現性と信頼性の高いマスク位置決めが可能になり、プログラマブルなインターフィールドプロトコルは不均一な画像を処理し、露出のばらつきを低減します。UX 4440にはさらに精度を高め、ナノメートルの再現性を実現するために使用される4軸の振動ヘッドステージもあります。この機能は、マスクスリップの問題を排除し、位置反復性を向上させます。さらに、このツールには200Hzの加熱回路が含まれており、クリープや歪みなどの問題に対処するために微調整および調整することができます。USHIO UX-4440は、安全性と利便性のために、内部耐食性ステンレスチャンバー、自動安全シャットオフ、および最適なマスク保護のための調整可能な圧力領域を備えた窒素パージ資産を備えています。さらに、モデルのすべてのコンポーネントが認定され、EU労働安全衛生基準を超えています。最後に、使いやすいコントロールインターフェイスにより、すべてのパラメータと動作条件の直感的で迅速かつ効率的な設定が可能になります。これは、USHIO UX 4440の優れた機能と相まって、さまざまなナノ加工および微細加工作業に最適です。