中古 USHIO UX-4240 #9402608 を販売中

USHIO UX-4240は、高度な集積回路（IC）、 MEMS、およびセンサデバイスの製造用に設計された高精度のコンピュータ制御マスクアライナーです。高精度で高速なアライメントと高いスループットにより、高密度にパターン化されたフォトマスクを実現します。独自のLW-PRISMビジョンアライメント装置は、フォトマスクをワークに高速かつ再現性のある正確なアライメントを提供します。これにより、微細な線幅と最先端のリソグラフィ用途の一部を正確にパターン化できます。USHIO UX 4240は、0。3ミクロンまでの解像度で精密なアライメントを実現するために、高度な低コヒーレンクアドラント照明とオプションのモーター付きレンズの動きを提供します。高性能の三眼システムは、マスクの正確な表示とそれに加えられた変更を可能にします。精密なオーバーレイ解像度とパターン解像度のために、UX-4240は接触イメージセンサー（CIS）、レーザーイメージセンサー（LIS）、およびImagePCイメージセンシングシステムを採用し、マスクをワークに正確にアライメントするために一緒に使用されます。このユニットはまた、最も要求の厳しいオーバーレイ要件を満たすために、多数のアライメントおよびイメージングオプションを提供しています。UX 4240はまた容易な操作のための自動索引機械を提供します。ワーク変位制御と光要素アレイ機能を備えており、散乱光とビーム経路を最適に制御できます。さらに、手動ウェハーマウントホルダーと3軸リニア電動ホルダーを装備し、優れたアライメントとサブミクロン精度を実現しています。これらの機能はすべて、生産性、歩留まり、汎用性を最大限に高めるように設計されています。USHIO UX-4240にまた最も要求の厳しいproberの条件を満たすために適用範囲が広いproberの改善の選択が技量の良質を保障しますあります。USHIO UX 4240は、最高レベルの生産要件に対応する信頼性と費用対効果の高いソリューションです。