中古 USHIO UX-4240 #9364547 を販売中

USHIO UX-4240は、半導体チップ製造におけるフォトリソグラフィに使用されるトップオブラインのマスクアライナーです。チップ製造工程で幅広い用途に対応した高精度で信頼性の高い工具です。精密光学系や微細機械系を駆使し、感光面に高解像度のパターンを正確に露出させます。USHIO UX 4240は、主にシリコンウェーハ、液晶ディスプレイ、フォトマスクなどの基板上の集積回路のパターン作成に使用されます。読みやすいデジタルディスプレイ、ジョイスティック制御システム、選択可能なウェーハ加熱ステーションなど、幅広いユーザーフレンドリーな機能を備えています。その主な利点は、最大0。2 µmの高いアライメント精度、深い紫外線光源、マスク検査用の赤外線レーザーなどです。このユニットは、3軸の位置決めステージを使用して、中面を正確にスキャンして露出します。ステージは、マスクが正確に配置され、露出されていることを確認するために、閉じたループ、自動焦点モードで動作します。このマシンはオンボードコントローラによって制御され、さまざまなパラメータや設定にアクセスできます。このツールは、超高圧水銀アークを使用してクリーンで安定した光源を提供するペンタプリズムイルミネータを使用しています。この資産は、薄膜などの材料を大幅に均一に堆積することも可能です。さらに、複数のカメラとレンズが同じ光源を競合するときに発生するシャドーイング効果に対処しながら、高い再現性を保証します。安全性の面では、材料とオペレータの両方を害から保護するために、チャンバーに迷い光が入るのを防ぐシャッターなど、さまざまな安全性の特徴を備えて設計されています。さらに、装置には、装置への損傷を防ぐためにチャンバー内の圧力レベルを制御するためのシステムが装備されています。