中古 USHIO UX-4240 #9364546 を販売中

USHIO UX-4240は、半導体デバイス製造のための最先端のマスクアライナーです。この装置は、光学マスクとウェーハを高速で正確に整列させるように設計されています。4軸モーションステージを備えており、高速で正確なパターンアライメントが可能です。このシステムには、正確な制御のためのオートフォーカスおよびアライメントカメラシステムも含まれています。USHIO UX 4240は、深紫外線、レーザードープ、電子ビーム、ナノインプリントのリソグラフィなど、さまざまなパターニング技術にさまざまな光源を使用しています。これは、速度、加速度、方向を制御することができる非常にダイナミックなビームスキャンユニットを備えており、非常に正確なパターニングを可能にします。このマシンは、複雑な設計規則であっても、小規模および大規模なパターン領域の両方に一貫した結果を提供するように設計されています。また、ウエハ上に薄膜膜を形成するための誘導結合プラズマ（ICP）スパッタリング技術も搭載しています。さらに生産性を高めるために、UX-4240はマスクのアライメント、計測、化学を同時に行える4チャンバー設計を備えています。これにより、スループットを高速化し、ウェーハあたりのコストを削減できます。また、追加のパターン調整精度のためのウェーハチャッキングステージも含まれています。このツールには、既存の残留層を除去するためのレーザーレジスト除去アセットも含まれています。UX 4240は、高い稼働時間のために設計されており、完全なリモートアクセスとメンテナンス機能を提供し、保守性を向上させます。このモデルには、ウェーハのアライメントと検査を容易にするためのデジタル顕微鏡が含まれています。これにより、歩留まりを向上させることで、一貫したデバイス品質を実現できます。また、高度な安全機能とユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備え、生産性を向上させています。USHIO UX-4240は光学マスクおよびウェーハの速く、正確な整列を提供するように特に設計されている高度システムです。高速で動的なビームスキャン機能、同時マスクのアライメントと計測、簡単な保守性により、半導体デバイスの製造に最適なソリューションです。