中古 TAMARACK 191 #9237954 を販売中
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TAMARACK 191は、集積回路の加工・製造に使用される高度なマスクアライナーで、配線、トランジスタなどのパターンを持つフォトマスクの層をウェーハに移します。191アライナーはマスクの均質性のために露出装置を使用します。このシステムは、157nmアルゴンフッ化物エキシマレーザー光源、イメージングユニット、回転ステージ、アライメントマシンで構成されています。露光ツールは、157nmの波長アルゴンフッ化物エキシマレーザーで構成され、ウェーハにフォトマスクを露出させるために使用されるUV光を生成するために使用されます。レーザーは6kWパルス出力を備えた空冷式コールドキャビティレーザーで、ウェーハ全体に均一な光強度をもたらすように設計されています。イメージングアセットは、0。50の数値開口と自動相関アルゴリズムを備えたダブルマルチダイレンズで構成され、フォトマスク上のパターンとウエハ上の基盤パターンを比較するために使用されます。中間サイズローテーションステージにより、フォトマスクを形成されたウェハ上のターゲットパターンに合わせて360度回転させることができます。ステージは高精度な動きが可能で、X軸とY軸の両方で精度と再現性を備えています。アライメントモデルは、基盤となるウェーハパターンとフォトマスクパターンのアライメントまたは配置を担当します。高度なアフィン変換アルゴリズムを備えており、各フォトマスク層をウェハ上に正確に配置するのに役立ちます。TAMARACK 191は、集積回路の大量生産に最適な効率的で精密なマスクアライナーです。高いレーザー強度、イメージング精度、アライメント精度を備えているため、大量の集積回路を含む複雑な製造プロセスに適しています。
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