中古 TAMARACK 191 #9181537 を販売中
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TAMARACK 191は、レチクルを使用するために設計されたマスクアライナーです。これは、最小ステップサイズ0。5 m、最小オーバーレイ0。25 mの強力な2ステッピングポジショナーです。191の主な機能は、正確な光学フォトリソグラフィを達成することです。高度なセンサメカニクスを使用して、ウェーハ上のコンポーネントを製造するために、整列されたレチクルからウェーハステージに正確にデータを転送します。一連の光学センサは、パターンと連動して、露出前の正確なアライメントを確保します。これには、赤外線レーザー、干渉測定、およびアライメントの精度を検出し、マスクアライナーにアライメント補正フィードバックを提供するデジタルイメージング技術の組み合わせが含まれます。ユーザーは、レチクルサイズ、アライメント精度、傾きとスキュー、露出設定などのパラメータを制御することができます。これにより、細かく調整されたプロセス要件にレチクルを正確にマッチさせることができます。このシステムには、25ポジションオートインデクサも搭載されています。これはロボットアームで、2ステップの一連の位置の容量を持ち、2つのレチクル間で自動的に交換できます。アライメントプロセスに高速、再現性、精度を提供します。また、TAMARACK 191には、複数の画像処理アルゴリズムを利用して最小の機能を正確に検出するオートフォーカス機能を搭載しています。0。5 mまでのパターン特性に焦点を当てることができます。191はまたSi、 GaAs、 LiNbO3、 GaN、 GaPのような多くの異なった基質と使用することができ300°Cまで温度を扱うことができます。TAMARACK 191は、高収率、高精度、および高スループットのデバイスを製造するための優れた選択肢です。高精度、再現性、自動化機能を備え、ハイエンド生産に最適なツールです。
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