中古 TAMARACK 162 #9397213 を販売中

TAMARACK 162
製造業者
TAMARACK
モデル
162
ID: 9397213
Mask aligner.
TAMARACK 162は、高精度の集積回路の製造のための高解像度フォトリソグラフィーパターニングを製造するために使用される高度なマスクアライナーです。162は、移動レーザースポットを利用した連続接触露光プロセスを採用したマスクアライナーです。このタイプのマスクアライナーは、従来の接触露光システムよりもはるかに正確であり、2ミクロン以下の露光分解能を可能にします。TAMARACK 162は、露出分解能0。5 μ m以下の高解像度パターンを提供するように設計されています。この精度は、作動したX-yポジショニングシステムによって実現され、0。1 μ mの解像度まで部品を正確にアライメントすることができます。162はまた1つの基質のさまざまなパターンのサイズおよび深さを可能にする適用範囲が広いパターン化の段階を利用します。TAMARACK 162は、複雑なフォトリソグラフィーパターンの迅速かつ正確な生産を可能にするユーザーフレンドリーなマスクアライナーです。タッチスクリーンコントロールを備えた直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと、正確な位置決めのための組み込みモーションコントロールシステムを備えています。162には、内部の自動露出監視と最適化、ウェハ/基板処理用の自動負荷システム、およびマスクの積み降ろし用のセルフマネージドロボットアームもあります。TAMARACK 162は、高解像度のイメージング機能とユーザーフレンドリーなインターフェースに加えて、コスト効率を考慮して設計されています。プロセスオートメーションと統合生産性監視機能を備えており、スループットを最大限に高めることができ、その柔軟なソフトウェアは、スピントロニクス、MEMS、マイクロ流体、フォトニクスなど、さまざまな複雑なテクノロジーアプリケーションに使用できます。全体として、162は、高精度フォトリソグラフィーパターニングを必要とする技術的に要求の厳しいプロセスやアプリケーションに最適です。高解像度ステージ、ロボティクス、自動化された機能により、フォトマスクアセンブリとアライメントを高速かつ正確に行うことができ、高精度ウェーハの製造に最適なソリューションです。
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