中古 TAMARACK 162 #9214870 を販売中
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TAMARACK 162は、研究および微細加工に使用されるフォトリソグラフィープロセスの自動アライメントステージです。完全に自動化された高スループットの精密マスクアライナーで、シングルステッププロセスおよび複数のマスクに最適です。162は、マスクのアライメント精度と信頼性を可能にする複数の主要コンポーネントで構成されています。メインコンポーネントには、シングルマスクステージ、ファインステージ、フレーム選択ステージ、高精度モーションコントロール装置、コロナグラフがあります。シングルマスクステージは最大10枚のフラットマスクをサポートし、ファインステージは1度の粒度を持ちます。フレーム選択ステージにより、マスクテーブル上のウェーハまたは基板の正確な位置決めが可能です。モーションコントロールシステムにより、サンプルとマスクをサブミクロン精度で正確にアライメントできます。コロナグラフはTAMARACK 162の最も特徴です。特許取得済みのレーザーユニットと、内部キャリブレーションマシンを使用してウェーハ基板上のマスクパターンを特定する高度なイメージング技術、および4台のカメラを使用してマスクパターンを基板に投影するイメージングプロセスを備えています。162は、SU-8、シリコン、ポリイミド、石英など、さまざまな種類のアプリケーションと非常に互換性があります。また、正確な位置決め測定、高速画像処理、プロセスの監視と必要に応じて変更を行う機能など、計測とプロセス制御の完全なスイートを提供します。高精度なモーションコントロールツールとコロナグラフにより、高精度で再現性があります。また、ワンステッププロセスであるためコストを削減し、複数のマスクを効率的に処理できます。TAMARACK 162は、研究または工業用スケールの微細加工プロセスのための機器の理想的な選択肢です。より迅速で正確なプロセスを容易にし、結果に対する品質管理を強化します。
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