中古 TAKATORI NMC 1 #9132183 を販売中

TAKATORI NMC 1は、微細加工されたマスクを基板に正確かつ正確に合わせるように設計されたマスクアライナーです。Siウェーハなどの基板上に高解像度の特徴をパターン化するために使用され、最大6つの独立したマスクを同時に配置し、精度と精度をサブミクロメータレベルに下げることができます。NMC 1は、マスクを基板上に配置するための高度な光学イメージングおよび画像処理技術を利用しています。画像装置は、ビームスプリッター、レンズ、CCDカメラ、可動ミラーなど、いくつかの光学部品で構成されています。ビームスプリッタは、アライメントデバイスからの光を2つのパスに分割します。最初のパスはマスク上の参照パターンを照らすために使用され、2番目のパスは基板上の同一のパターンの画像をキャプチャするために使用されます。TAKATORI NMC 1は、撮影した画像の相対位置を解析することで、小さなアライメントの違いを検出することができます。その後、ミラーとマスクホルダーの動きを自動的に調整して、マスクを基板に正確に配置します。NMC 1のアライメント精度は約50ナノメートルです。この精度を維持するために、温度、湿度、圧力レベルが安定して動作するように環境制御ユニットを装備しています。TAKATORI NMC 1は、光源、モーションコントローラ、真空チャックなどの他のデバイスと組み合わせて使用するように設計されています。光源を使用してマスクのリファレンスパターンを照らし、モーションコントローラと真空チャックを使用してマスクと基板を保持および移動させ、正確なアライメントを確保することができます。NMC 1は、基板上のマスクの正確かつ正確な位置決めに加えて、マスク登録やマスクパターンの歪みを測定する機能などの追加機能も提供します。また、手動で配置パラメータを調整するための手動モードもあります。TAKATORI NMC 1は、サブミクロメーターレベルまでの精度と精度を提供する高度なマスクアライナーです。光源、モーションコントローラ、真空チャックなどの他のデバイスと組み合わせて使用するように設計されており、微細加工されたマスクを基板に正確にアライメントすることができます。環境制御装置は、動作中の温度、湿度、圧力レベルが安定して維持されますが、マスクの登録やパターン歪みの測定などの追加機能により、結果をさらに最適化することができます。