中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML PE SVGL #9191660 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/ASML PE SVGLは、シリコンチップ上の回路の製造およびパターン作成に広く使用されている多機能マスクアライナーです。精密かつ正確なマスク登録やアライメントから精密なダイツダイパターンまで、幅広い機能を発揮します。このシステムには、露出、コーティング、パターニング、デスタッキングなどの精密なリソグラフィーアプリケーションが可能な2つのコンピュータ制御ステージが装備されています。ステージにはインテリジェントアルゴリズムが搭載されており、最大9ナノメートルの全方向の自動移動を可能にし、高精度と再現性を確保します。内部スキャン顕微鏡は、パターンを観察し、欠陥を検査し、コーナーを横断するように設計されています。ミスアライメントが誤差につながるのを防ぎ、オペレータがパラメーターを素早く正確に調整できるようにします。顕微鏡には、マスクがエッチング処理に最適な位置にあることを保証する自動アライメントシステムも含まれています。コンパクトなサイズながらも、SVG PE SVGLは幅広い高度な機能を提供します。これにはユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスが含まれており、ユーザーはジョブをすばやく設定できます。また、GDSII、 OASISなどの様々なマスクパターン、露出設定、チャック温度制御、熱画像の統合なども提供しています。ほとんどのフォトレジスト素材に使用でき、幅広い用途に適しています。ASML PE SVGLによって実現されたスループットとオートメーションにより、大量生産に最適な選択肢となり、オペレータはさまざまな処理パラメータに素早く切り替わり、歩留まりを最適化することができます。また、業界標準を超える正確な結果を提供し、そのパフォーマンスで印象的な実績を誇っています。最後に、世界トップクラスのカスタマーサポートに支えられ、必要なときに信頼できる知識豊富なヘルプをユーザーに提供します。