中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML PE SVGL #9187411 を販売中

SVG/PerkinElmerSVG/PERKIN ELMER/ASML PE SVGLは、半導体リソグラフィに使用されるマスクアライナーです。このデバイスは、マスク（フォトマスクまたはレチクル）にパターンを配置し、シリコンやガラスなどの基板に正確に転送するために使用されます。SVGLは、複数のレベルのパターンの超精密なアライメントを作成することができ、結果として生じるチップ設計の高解像度を可能にします。SVGLはまた、ウェーハとレチクルの両方の表面に焦点を当てることができる高度な光学機器を備えており、最適なイメージング解像度を提供します。SVGLは、レーザーステアラーを使用してリソグラフィー工程全体をガイドし、各ステップの正確な制御を可能にします。スキャニングリニアモータは、ステージの高精度な移動を可能にします。アライメント信号はエッジ測定に基づいており、位置データを生成します。このデバイスは、高精度を維持しつつ、個々のコンポーネントのバリエーションを補正することもできます。SVGLのオンボードイメージングシステムは、パターンスイッチングや基板シフト測定などの自動情報にデュアルカメラを使用しています。SVGLの制御ユニットは、コントローラの専用ソフトウェアパッケージでプログラムすることができます。この制御装置は、基板やレチクルの位置、光学的設定、レーザーステアラー制御、プロセスが必要とするユーザー定義の設定などのパラメータをカスタマイズすることができます。このため、SVGLは生産ラインでよく使用されます。また、SVGLは予知保全機能や予防保全機能も備えています。このデバイスは、1日あたり3500以上のウェハロケーションに使用でき、チップの欠陥を最大30％削減できます。また、使いやすいグラフィカルインターフェイスと高精度を提供します。結論として、ASML/PerkinElmerSVG PE SVGLは半導体リソグラフィで使用されるマスクアライナーです。精密な位置合わせのためのレーザーステアラーと正確な位置決めのためのスキャンリニアモータを備えています。さらに、SVGLは高度なイメージングツール、プログラムされた制御資産、予測および予防保守機能、直感的なユーザーインターフェイスを提供します。高精度のため、SVGLは、チップ設計で高解像度の結果を達成するために探している人のための優れた選択肢です。