中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign #9073862 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/ASMLマイクロエレクトロニクス用のマスクアライナーです。集積回路などの半導体部品の製造工程において、半導体リソグラフィックマスクを正確に配置・アライメントするために使用される精密アライメント装置です。これは、リソグラフィープロセスのバックボーンとして機能するため、ウェーハ製造プロセスの中核です。SVG Micralignは、テーブル、ステージ、光学システム、および2つ以上のカメラで構成されています。最大5つの独立したマスク層の位置決めとアライメントが可能です。個々のマスク層のイメージングポイントを検出するためにCCDカメラを使用し、フィデューシャルマーカーなどのさまざまな方法を使用してアライメント精度を向上させます。このユニットには、マスク層の自動配置用のプログラマブルモータドライブステージも含まれています。ASML Micralignには、顕微鏡の対物レンズ、テレセントリックレンズ、偏光ビームスプリッターなどの高度な光学ツールが搭載されており、正確なアライメントが可能です。偏光ビームスプリッタは、異なる材料または層を持つ2つのマスクを同時に検出することができます。顕微鏡の対物レンズはイメージを増幅するのに使用され、テレセントリックレンズは装置の視野全体で均一な焦点を保障します。Micralignは、CCD画像を使用してアライメントポイントを素早く正確にゼロにする自動パターン認識など、さまざまなアライメントモードと非接触アライメント機能を提供します。PERKIN ELMER Micralignは、マスク層を迅速かつ正確に整列させることにより、重要な登録パラメータの再現性と精度を保証します。さらに、SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralignは、リアルタイムのIntelli-Alignマシンを含むプロセスと生産性の利点を提供します。このデバイスはまた、プロセスをより効率的にするために、さまざまな位置決め、イメージング、アライメント機能を提供します。全体として、SVG Micralignはマイクロエレクトロニクス製造プロセスに不可欠なマスクアライナーです。これは、正確で反復可能なマスク層のアライメントを可能にするさまざまなアライメントツールと機能を提供しています。高度なイメージングツール、リアルタイムのIntelli-Alignツール、プロセスと生産性の利点など、その主な機能は、信頼性と貴重なアライメントツールになります。