中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 700 #9232857 を販売中
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販売された
ID: 9232857
ウェーハサイズ: 4"
Projection mask alignment system, 4"
Autoload system
Wafer type: Semi flat
Cassette to cassette
Includes optical alignment spacers
Auto fine alignment (AFA).
SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700 from SVGは、すべての半導体および関連するフォトリソグラフィープロセスに電力と精度を提供するマスクアライナーです。マスクパターンの整列・検査用に設計された高精度な装置で、半導体製造に最適なツールです。SVG Micralign 700は、ナノレベル範囲で高精度に2枚以上のマスクを揃えることができる、高度で完全に自動化されたスキャン光学イメージング装置です。このスキャンシステムは、マスクパターンの取得、アライメント、検査を同時に行うことができます。また、1露出と2露出の2つの異なる動作モードを備えています。この包括的なユニットには、HPMA (High Precision Mask Aligner)も含まれています。ASML Micralign 700は必要性を満たすために高いスループットおよび正確さを保障します。マスクのレプリケーション時間を大幅に短縮するために、最大4 x 5インチの非常に広い視野を持っています。さらに、高精度のモアレフリンジマシンは、低エイリアスノイズで、ソースとターゲット画像の間の高速で正確で安定したアライメントを保証します。また、視野全体にわたって高精度な拡張レーザーアライメントシステムとピッチアライメント精度を15µmしています。PVC-1000Tキャリブレータは、機器のすべてのパラメータが継続的にチェックされ、すべてのコンポーネントが完全に整列されていることを確認します。統合された高解像度CCDカメラツールは、非接触マスク検査も可能です。さらに、内蔵の管理された環境資産は、すべての必須パラメータを最適な値に保ちます。PERKIN ELMER Micralign 700は、安全性とユーザーフレンドリーな操作のために最適化されています。その統合された、読みやすいグラフィカルユーザーインターフェイスは、オペレータとモデル間の簡単な通信を保証します。また、自動シャットオフ、内蔵の暗闇モニター、X線検出器、スパークまたはプラズマ発電機検出装置などの一連の安全システムは、ユーザーと機器を損傷から保護するために並行して動作します。Micralign 700は、最高品質のプロトコル性能と精度を保証し、あらゆる半導体製造に最適なツールです。半導体業界における高精度なマスクアライメントと検査ニーズに効果的で革新的なソリューションを提供します。
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