中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 700 #293619654 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700はマスクアライナーです。マイクロエレクトロニクスデバイスの製造中にリソグラフィックレチクルを正確に配置およびアライメントするために使用される機械です。SVG Micralign 700は、半導体ウェーハのさまざまな寸法や特徴のマスクを揃えることができる汎用性の高いツールで、回路パターンの正確な位置決めとアライメントを可能にします。本機は、レチクルとウェーハをスキャンするためのカメラ装置、二線式アライメントシステム、ウェーハに対するレチクルの正確な位置決めとアライメントのための6軸ロボット、およびスキャン操作の高精度かつ再現性のためのオートフォーカスユニットで構成されています。6軸ロボットは、X-Y-Zの3つの相互垂直方向にリソグラフィーのレチクルを手動で配置することができます。ASML Micralign 700には2つのスキャンヘッドがあり、1つは10インチ（25 cm）までの大きなレチクル用、1つは4インチ（10 cm）までの小さなマスク用です。カメラマシンはBlue Laser Diode （BLD）イメージング技術を使用して、レチクルとウェーハを正確にスキャンし、優れたSNR（>300）とステージの高い回転率を毎秒3回転まで提供します。オートフォーカスツールは、MEA （Multiple Exposure Algorithm）に基づいており、Z軸スキャンアセットを使用して残像歪みを迅速かつ正確に測定します。これにより、ウェーハに対するレチクルの正確な配置とアライメントが可能になり、配置の再現性は<5ナノメートルです。Micralign 700にはオプションのHCS （Hydraulic Chuck Model）も搭載されており、アライメント操作中にウェーハを固定するように設計されており、ウェーハに対するマスクの正確なアライメントに不可欠な安定性を提供します。HCSは、追加のツールを必要とせずにウェーハを固定するための調整可能なツールフリーソリューションを提供します。PERKIN ELMER Micralign 700は、ウェーハに関してレチクルの正確かつ再現可能なアライメントを可能にする堅牢で汎用性の高いツールです。このマシンの高精度なBLDカメラ装置とMEAオートフォーカス・システムは、スキャン操作において優れた精度を保証します。オプションのHCSは、アライメント操作中にウェーハを固定して安全に保つことを保証します。SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700は、5ナノメートル以下の配置再現性を備え、高度なマイクロエレクトロニクス部品の製造に不可欠なツールです。