中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 700 #293618523 を販売中

SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 700
ID: 293618523
ウェーハサイズ: 6"
Mask aligner, 6".
SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700は、精密なVLSIウェーハ加工のためのフォトリソグラフィに使用される高精度、高精度のマスクアライナーです。SVG Micralign 700は、最先端のガルバノメトリック制御と正確で再現性のある登録機能を備えており、優れたアライメント精度を実現しています。最大の生産性と柔軟性のために設計されたこの装置は、生産および研究アプリケーションの両方の厳しい要件を満たす幅広い機能と機能を提供します。このマスクアライナーは、半導体ウェーハ上に複雑なパターンを作成するための正確で信頼性の高い高速ツールであるように設計されています。このシステムの2軸ガルバノメートルスキャンユニットは、最大500個のアライメントマーカーを迅速かつ正確に登録できます。また、同時に最大5枚のフレックスとフラットマスクを収容することができます。ASML Micralign 700は、迅速で正確かつ再現性のある登録により、マスキング操作を簡素化および高速化します。Micralign 700には、マスクからマスクへの移動時に最適なアライメントのために光学系を迅速かつ正確に調整する自動レンズマシンも装備されています。また、アラインメントを検査し、サブミクロンのずれを特定するための高解像度イメージングツールと、アセット内の小さな差異を測定および修正するための高精度レーザー干渉計を備えています。このモデルは、高精度なアライメントのための高速クロスラインレーザー、直感的な使いやすさを提供する直感的なユーザーインターフェイス、最適な精度と再現性を提供する機械装置など、半導体フォトリソグラフィに最適ないくつかの重要な機能を備えています。要約すると、PERKIN ELMER Micralign 700は、半導体ウェーハ製造の厳しい要件を満たすように設計された強力で高精度で高精度なマスクアライナーです。高速登録用の2軸ガルバノメートルスキャナ、アライメント検査用の高解像度イメージングシステム、小さなアライメント分散を測定および補正する高精度レーザー干渉計を備えています。高度な機能により、微細なアライメントと回路レベルの精度を実現するための優れた選択肢です。
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