中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 651HT #9399549 を販売中
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SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 651HT Mask Alignerは、マイクロエレクトロニクスデバイスのフォトリソグラフィック生産用に設計された、フルオートのコンピュータ制御デバイスです。薄膜マスクから精密エッチングマスクまで、さまざまなフォトリソグラフィーマスク素材を揃えることができます。装置は、マスクアライナーヘッド、サンプルステージ、レーザーアライメントシステム、およびレーザービームをサンプルに投影する発光装置で構成されています。SVG Micralign 651HTは、基板の高解像度および高速アライメントを提供します。その2次元、2軸アライメントユニットは、X軸とY軸の4µmの最大分解能を提供し、傾きの± 2秒角を提供します。ポインタマシン、電子ビーム光学ツール、可視標的光学系とのレーザーアライメントを利用し、+/-2ミクロン以上のアライメント精度を有しています。さらに、651HTは高速アライメントを提供しています。基板上のパターン作成に必要な30秒もかかりません。Micralignは仮想アライメントライブラリを使用しており、X軸とY軸の両方で基板とマスクをターゲット位置に素早く移動できます。このプロセスは、近距離のアライメントと相まって、位置誤差を認識して修正することでアライメントがずれる可能性を低減します。アライナーは直径200mmまでの基板を保持でき、基板厚は最大6mmです。薄膜マスクから、より複雑で精密にエッチングされたマスクまで、幅広いマスクに対応できます。さらに、651HTはソフトとハードの両方の接触アライメントシステムをサポートしているため、マスクを基板の端に配置するか、平面に配置することができます。このアセットは、ハイスループット動作用に設計されており、空気圧制御ロボティクスにより、平行ベースライン間の迅速なシャトル時間を実現します。利便性のため、アライナーは業界標準のソフトウェアやデータベースとも互換性があり、複数のシステムを集中制御で簡単に接続できます。要約すると、ASML Micralign 651HTは、マイクロエレクトロニクスデバイスの微細構造フォトリソグラフィ製造に最適です。高解像度、高速アライメントを提供し、幅広いマスクに対応しています。仮想アライメントライブラリはミスアライメントを低減し、空気圧制御ロボティクスは効率的でハイスループットモデルを提供します。
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