中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 651HT #156275 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 651HTは、半導体製造プロセスでフォトマスクを半導体ウェーハに迅速かつ正確にアライメントするために設計されたマスクアライナーです。高精度とスループットが求められる生産環境に適しています。SVG Micralign 651HTは、最大1µmピクセルサイズの解像度を提供する4インチの視野を持つウェハレベルのステッパーです。大型145mmマスクサイズのマスク搬送機構を備えています。この装置には、画像のコントラスト、マクロな高さプロファイル、顕微鏡の焦点位置を測定する3つの光学測定サブシステムが装備されています。マスクの自動配置に使用できる2軸ステージシステムを採用し、0.7µmの登録精度と迅速かつ正確なアライメントを実現しています。統合されたユニットコントローラは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと使いやすいプログラミング言語を備えています。ASML Micralign 651HTは、リソグラフィ、光学検証、表面検査など、さまざまなアプリケーションに対応するように設計されています。それはまた熱い浮彫りになり、基質の結合に使用することができます。ユーザーインターフェイスは、効率的なマスクアライメントのプログラミング、保存、および取得を容易にします。この機械の光学系は、摩耗と振動を最小限に抑えるためにエアベアリングモジュールに収納されているため、より滑らかで正確なウェーハアライメントが可能です。高速イメージングカメラは、高速応答時間と高精度のデータを提供します。また、光学系には音響干渉フィルタが搭載されており、細部を測定する際のバックグラウンドノイズを低減します。このツールは、大容量のマスク、可変パターンの繰り返し、使いやすいプログラミング言語で高いスループットを実現します。さらに、光学顕微鏡や自動光学検査システムなど、他のシステムと容易に統合することができます。反復可能なアライメント精度と低ノイズ動作により、本番環境に最適なソリューションです。