中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 650 #128872 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 650は、精密機能と機能を備えた最先端の高度なマスクアライナーです。これは、X-Y変位ビジョンコンタクトアライナーとステッパーで、フォトマスクをウェーハに合わせるために使用されます。高度なプログラマブルマーク検索アルゴリズムを使用してウェーハを検索し、正確にスキャンしてパターンを探し、フォトマスクのアライメントを検証します。可視スペクトル内のレーザダイオードを使用して4つの可変焦点パワーオプティカルアライメントを実行することができ、低消費電力、背景照明ソース、および画像キャプチャ機能を備えた高速カメラを備えています。このシステムには、ウェーハ輪郭、アライメント、マスク登録制御用の高度なソフトウェアも装備されています。SVG Micralign 650には、プロセスアプリケーション中にきれいで滅菌性を維持するために囲まれた作業エリアが付属しています。スループットの向上と生産時間の短縮に加えて、線形誤差と放射誤差の両方で1ミクロン未満の優れた精度を提供するように設計されています。システムには複数のスキャンモードがあり、アライメントプロセスを最適化するために使用できます。x2からx500までの広範囲の倍率レベルを提供し、標準的なマスクフォーマットとの互換性を維持しながら、より正確にアラインメントを分析および位置決めすることができます。さらに、ASML Micralign 650は、ウェーハごとに複数のマスク層を数分から数秒まで整列させるプロセスを削減するためのオンボードプリアライメントシステムを備えています。また、クローズドループ機能により、オンラインおよびリアルタイムでマスク間ウェーハアライメントを検査する品質管理の取り組みもサポートしています。ワークステーションのサイズが大きいため、誤った問題がなくなり、アライメントの精度を損なう可能性があります。Micralign 650は、フォトマスク製造プロセスに高精度のアライメントを必要とするユーザーにとって理想的な選択肢です。それはまた働く変数の柔軟性そして多様性と来る堅牢性と非常に信頼できます。