中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 600 #9357224 を販売中

SVG/PERKINELMERSVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 600マスクアライナーは、ハイブリッドフォトリソグラフィーアプリケーションに使用される完全自動化、高性能、アライメント装置です。光学的に記録されたパターンや形状をフォトマスクから基板に投影するための多波長プロジェクションユニットを利用したリソグラフィーシステムです。これにより、高精度な半導体デバイスの製造が可能になります。自動アライメントと高速パターニング性能により、産業回路生産、医療機器生産、半導体チップ製造などの用途に最適です。ツールのエンジンは、デュアル波長投影アライメントです。マスクと基板に配置された複数の基準点の同時照明を提供します。フォトマスクは6軸アライナーステージに取り付けられ、マスクパターンを基板に迅速かつ正確にアライメントできます。これは、基板上の任意の点で正確なアライメントが達成されるように、3次元の第一原理アライメントアプローチを使用しています。このモデルには、1マイクロメートル以上の位置決め精度を提供できる精密ピエゾステージドライブが含まれています。SVG Micralign 600には、高精度パターンソース、一貫した照明、およびパターンスケーリングと解像度を微調整するための高度なレーザー干渉計が含まれています。これらのすべての機能の組み合わせにより、レガシーアライナーよりも大幅に登録精度が向上します。これは、モデルデータの生成、アライメント、および分析のための様々なオプションのアクセサリーやソフトウェアプログラムが装備されています。これらのオプションのシステムコンポーネントにより、計測、オーバーレイアライメント、欠陥検査、印刷残留解析などのアプリケーションを高精度に実装できます。ASML/PERKINELMERASML Micralign 600マスクアライナーは、要求の厳しいフォトリソグラフィーアプリケーションに信頼性の高い精度を提供する高度で効果的なユニットです。