中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 550 #128870 を販売中

SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 550
ID: 128870
Projection mask alignment system.
SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 550マスクアライナーは、SVGが製造する最先端のアライメントシステムです。半導体デバイス製造、オプトエレクトロニクス、マイクロエレクトロニクスなど、機能の正確なアライメントが必要とされる先端技術アプリケーションに使用するために設計されています。SVG Micralign 550は、作業面積200mm×200mmのX-Yステージ、視野0。2mmの視野、XとYで0。02mmの再現性を備えています。最大2。5m/sの速度で実行でき、再現性は0。002 in/sです。ステージには、ウェーハレベル処理用の真空作動チャックが装備されています。また、調整可能なトルク制御を備えた双方向サーボモータと、非表示のアライメント用のリニアエンコーダを備えています。ASML Micralign 550はヘリウムイオン、eビーム、光学およびレーザーのリソグラフィを含む多くの異なった技術と、使用されるように設計されています。また、deep-UVおよびultra-violet処理、および接触および近接アライナーもサポートしています。包括的なソフトウェアツールとアクセサリが含まれており、ユーザーはマシンを完全にプログラムして監視することができます。PERKIN ELMER Micralign 550は、最も複雑なパターンから最もシンプルなパターンへのアライメントのための信頼性が高く、繰り返し可能で正確なプラットフォームを提供します。機能豊富なマスクやウェーハの生成を可能にし、正確な実行時間と高精度の要件を満たします。ワークフローを最適化することで、生産コストを削減しながら、高い歩留まりとスループットを実現します。機械はまた低い操業費用および最低のダウンタイムとエネルギー効率が良いです。Micralign 550は、先進技術アプリケーションのユーザーにとって理想的なアライメントソリューションです。高精度で効率的で信頼性が高く、高品質で詳細なマスクやウェーハを製造するための優れたプラットフォームをユーザーに提供します。
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