中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 540 #128869 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 540は、ウェーハレベルおよびチップレベルのフォトリソグラフィーアプリケーションに対応するために開発された多軸直接照明マスクアライナー装置です。SVG Micralign 540は、ウェーハへのマスクのユーザー指定アライメントを決定するための数学モデルを使用します。顕微鏡ステージは、垂直平面で上下に移動し、水平平面で左右に移動し、360度回転することができます。これらの軸はすべてグラフィカルユーザーインターフェイスで簡単に制御でき、マスクをウェーハに正確に登録できます。アライナーには、ユニークな垂直照明器と広い視野画像システムが組み込まれています。垂直照明器は可視光の調整可能なスポットを使用して、ウェーハ上のアライメントマークを正確に検出し、マスクへの正確な登録を保証します。このイメージングユニットは、電動イメージング対物レンズとカラーCCDカメラを組み合わせており、正確なアライメントを確保するために、アライメントマークの連続的かつ一貫した検出と機能の明確なイメージングを提供します。ASML Micralign 540は、最新のデュアルグレーティングオートフォーカスマシンを使用して、測定精度と再現性を実現しています。デュアルグレーティング設計により、顕微鏡は焦点面からのマクロおよびマイクロスケールの偏差を検出することができ、可能な限り長距離でのアライメント精度を保証します。デュアルグレーティングツールカップルは、強力なオートフォーカスコントローラを備えており、フォーカスポイントの正確な自動キャリブレーションを可能にし、アライメント精度をさらに向上させます。また、精密露出制御用のメカニカルシャッター、24ビットのリニアピエゾドライブステージ、信頼性の高いウェハ配置用の光学ウェッジなど、精度と再現性を向上させるエンジニアリング機能も搭載しています。Micralign 540を使用すると、すべてのアライメントおよびフォーカス特性をリアルタイムで監視および記録でき、信頼性と測定可能なパフォーマンスを保証します。このMask Alignerモデルは、プロセスワークフロー機器に完全に統合することもでき、自動化された操作とプロセススループットの向上を可能にします。