中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 330HT #128862 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 330HTは、ウェーハ上のパターンにチップ要素をサブミクロンアライメントするために設計された最先端のマスクアライナー装置です。このシステムは、優れた速度、精度、スループットを提供し、フォトマスク製造、デバイス製造、高度なリソグラフィなどのアプリケーションに最適です。SVG Micralign 330HTユニットの主なコンポーネントは、マスクフレーム、屈折光学、レンズアセンブリ、アライメントテーブル、および2次元（2D）クロスエンジンです。マスクフレームは両面または4面のスイングモジュラーマスクで設計されており、異なる位置で複数のマスクで動作することが可能です。屈折光学系は、アライメント中にターゲットパターンを明確に高解像度で表示します。レンズアセンブリは、アライメントの最適な焦点を得るためにも調整可能です。アライメントテーブルは2ラウンドの2次元調整で構成されているため、マスク位置を正確に調整することができ、ターゲットパターンをウェーハと整列させることができます。2Dクロスエンジンは、ターゲットとウェーハの距離を測定するために、2Dクロスハッチとリニアエンコーダとの移動ステージのペアを使用します。Mask Aligner Controller （MAC）は操作の頭脳として機能し、ユーザーは目的のアライメント設定を簡単に選択して設定できます。このコントローラは、ステージ上のマスクの位置を示すアライメントウィンドウと、最大10ミクロンの精度で自動アライメントを行うための統合された機能を含むコントロールセットで構成されています。さらに、MACにはオートフォーカス機能が搭載されており、最適な解像度を得るためにマスクの焦点を所望の位置に合わせます。ASML Micralign 330HTマシンの一般的な動作モードには、シングルマスクの整列、ウェーハへの自動整列、ウェーハへの手動整列、および3つのモードが組み合わされています。たとえば、ウェーハモードに自動整列すると、最適化パラメータはウェーハの移動に応じて自動的に調整されます。単一、自動整列、手動整列モードの組み合わせにより、ユーザーはさまざまな解像度とパターンを操作できます。全体として、Micralign 330HTは非常に汎用性の高いマスクアライナーツールです。これは、精度と速度で様々なチップ要素を処理することができ、高度なリソグラフィ、デバイス製造、フォトマスク製造のための理想的な選択肢となります。インテリジェントなマスクアライナーコントローラ、調整可能な光学系、調整可能なレンズアセンブリ、および2次元クロスエンジンを備えたこのアセットは、セットアップ時間を大幅に短縮し、優れたアライメント結果を提供します。