中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 300 #88758 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 300はフォトリソグラフィープロセスで使用されるマスクアライナーです。この特殊機器は、半導体、ディスプレイ、ウェーハなどの部品を製造するための精密なツールとして、マイクロエレクトロニクス、医療、バイオテクノロジーなどの業界で使用されています。SVG Micralign 300の使用法は、外部フォトリソグラフィ装置に基づいています。このマシンは、フォトマスクから基板にチップジオメトリを転送する高度なステップと繰り返しプロセスを提供します。10〜20 µmの精度で設計されており、厳格な位置要件を持つアプリケーションに適しています。マスクアライナーは、光がフォトマスクを通過し、その一部を基板上に移動させることで機能します。これは、ASML Micralign 300の光学ヘッド、レーザー光源、高精度ステッピングモータを含むElectro-Opticalシステムによって実現されます。光学ヘッドは、画像を正確に規定された位置に投影し、位置ずれの余地を排除します。マスクと基板の両方が、真空効果のあるXステージホルダーに配置されています。機械の制御により、X軸とY軸の両方に沿って正確な移動が可能になり、Z軸の座標移動は基板上に特殊なリリーフ構造を作成します。これは、フォトレジストが露出して開発されると、精密な回路構造につながります。可視光フィルターユニットは、任意の余分な光をフィルタリングし、目的のスペクトルのみが使用されるようにするためにも存在します。さらに、優れた解像度ですべての操作を詳細に表示する液晶ディスプレイスクリーンがあります。Micralign 300の安全面には、真空および化学インターロックマシンが含まれており、安全な操作と高精度プリントのために正しい大気条件が維持されます。このツールはさらに、基板ポジショナーの近くにある安全光検出器によって補完され、移動範囲の極限に達することを制限します。PERKIN ELMER Micralign 300は最先端のツールであり、あらゆるマイクロエレクトロニクス、医療、バイオテクノロジー施設で高いレベルの効率と生産性を保証します。その高度な仕様は、フォトリソグラフィープロセスで高精度で複雑なタスクを実行するのに最適です。