中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML M641HT #9220746 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/ASML M641HTは、半導体業界で一般的に使用されるハイエンドマスクアライナーです。7インチから8インチまでのフルサイズから8ミクロンまで、様々なマスクサイズに対応できる、高度に自動化された装置です。SVG M641HTマスクアライナーは、4ウェイブレッドボードアライメントシステムを使用して、アライナーのチャンバー内の基板、カバースリップ、およびレチクルを正確に特定します。基板とレチクルのアライメントが容易に行えるため、高精度・高精度での作業が可能です。さらに、このツールは複数のマスクアライナーもサポートし、生産およびテストのニーズに柔軟性を提供します。ASML M641HTは、プロセスを正確に制御できるように設計された幅広い制御システムを備えています。これには、ビームパス、フォーカス、露出を制御するだけでなく、自動化されたステージアライメントも含まれます。高度な制御資産は、プロセスの品質を確保するのにも役立ち、高収量の実行を達成することが容易になります。ピラミッドガルバノメーターベースのレーザー装置を使用して均一な照明を提供します。このレーザーは力の1mWのまわりで発生し、異なったレチクルのサイズを収容するためにビーム点は20から160ミクロンの間で変えることができます。ビームパスの精度はリアルタイムで調整でき、最大のアライメント精度を保証します。このシステムは、Si、ポリイミド、GaN、 GaAsなどのさまざまな材料で使用できます。ウェーハへの接触レチクル、ウェーハへのオープンレチクル、ローカライズされた反転二重露光（LIDE）、フラッシュフリー露光（FFE）、多層イメージングなど、さまざまなイメージングプロセスをサポートしています。PERKIN ELMER M641HTは、イメージング機能に加えて、オーバーレイ、CD公差測定、深度チューニングなどの他のプロセス手順もサポートしています。これにより、リソグラフィ、蒸着、ドライエッチングなど、さまざまな用途にユニットを使用できます。M641HTは、高精度・高精度を提供する自動機械で、高品質な製品を生産するための信頼できるツールを探している半導体企業にとって理想的な選択肢です。高度な制御機能とレーザー資産により、SVG/PERKIN ELMER/ASML M641HTは、ほとんどのイメージングプロセス要件に対応できます。